主动风环结构上选用双风口方法,其间劣势口风量坚持稳定,上风口圆周上分为若干个风道,每个风道由风室、阀门、电机等组成,由电机驱动阀门调整风道开口度,操控每个风道风量巨细。br
操控过程中,由测厚探头检测到薄膜厚薄信号传送到计算机,计算机把厚薄信号与当时设定均匀厚度作比照,依据厚薄误差量以及曲线改动趋势做运算,操控电机驱动阀门移动,当薄膜偏厚时,电机正向移动,风口关小;相反,电机反向移动,风口增大,经过改动风环圆周上各点风量巨细,调整各点冷却速度,使薄膜横向厚薄误差操控在方针的规模。
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